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극한 환경 반도체 공정에서 플라즈마와 할로겐 가스에 대한 내식성이 향상되어 공정중 파티클 발생이 저감된 세라믹 서셉터

(주)케이에스엠컴포넌트  ·  계획 게시 2026-08-26  ·  발주계획번호 R26DD20854792
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발주계획 정보
발주예정
2026년 8월
사업금액(합계)
40,700,000원
계약방법
제한경쟁
조달방법
중앙조달
품명
표면처리기
관할구분
기타기관
총괄기관
한국산업기술기획평가원
담당
소재개발팀 · 김보성
연락처
031-980-0180
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: ea)
1
규격
규격서 참고
용도
Remote Plasma source
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