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플라즈마에 의한 파티클 발생이 50%이상 개선된 정전척용 서셉터 개발

(주)케이에스엠컴포넌트  ·  계획 게시 2026-01-15  ·  발주계획번호 R26DD20534333
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발주계획 정보
발주예정
2026년 6월
사업금액(합계)
5.1억원 (514,000,000원)
계약방법
제한경쟁
조달방법
중앙조달
사업유형
해당없음
품명
주사전자현미경
관할구분
기타기관
총괄기관
한국산업기술기획평가원
담당
소재개발팀 · 김보성
연락처
031-980-0180
규격 · 수량 · 비고
규격
규격서 참고
용도
세라믹  등 재료의 미세구조 분석
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