진공 로드락, 공정챔버(1170(W)×1450(D)×1800(H)), 로드락챔버, 드라이펌프, 웨이퍼 홀더
첨단산업인재양성부트캠프사업 참여 학생 실습을 위한 교육 및 연구용 장비
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