규격서 참조
웨이퍼에 감광액(Photoresist)을 얇게 코팅한 후 이 웨이퍼에 원하는 회로 패턴의 포토 마스크를 올려 놓고 정밀하게 정렬하여 자외선(UV)을 조사한 후, 현상과정을 거쳐 미세 회로 패턴을 얻을 수 있는 장치
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