고에너지 기반 리사이클링 전극 전처리 장비- Power : 220VAC, 1-Phase, 50~60Hz - MFC: Digital type, 2SET - RF power system: Frequency 13.56MHz, Operating power range: 160-200W (Max. 300W) - 외형 치수 : 1300(W)mm * 1000(D)mm * 450(H)고에mm - Upper Head Moving Part & Control design - 자체 제어 프로그램 기반의 공정 조건 설정 및 프로그래밍 제어 기능 (Auto Matching Type, Programmed Control)
연구용