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초고해상도 전자빔 리소그래피 및 SEM 이미징 [Ultrahigh resolution electron beam lithography and SEM imaging]

한국과학기술연구원  ·  계획 게시 2026-02-24  ·  발주계획번호 R26DD20665781
연결된 입찰공고
초고해상도 전자빔 리소그래피 및 SEM 이미징
공고번호 R26BK01430883 · 일반공고 · 마감 2026-04-14
공고 상세
초고해상도 전자빔 리소그래피 및 SEM 이미징
공고번호 R26BK01463608 · 재입찰공고 · 마감 2026-04-28
공고 상세
발주계획 정보
발주예정
2026년 2월
사업금액(합계)
12.6억원 (1,259,276,496원)
달러 환산액
$868,874
계약방법
일반경쟁
조달방법
중앙조달
사업유형
해당없음
품명
포토레지스트노광기
공사기간
202612
관할구분
기타기관
담당
구매자산팀 · 안희주
연락처
02-958-6343
규격 · 수량 · 비고
식
참조
용도
연구용
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