1. 전기로 챔버 (2 Chamber) (1) 전면도어 구조: Ø600 mm × 1,500 mm (L) (STS304) × 2EA (2) 챔버 수평 배치 구조 (2개의 챔버 구조) (3) 제품 전면 로딩 방식 도어(door) 구조 2. 히터 (Heater) (1) 3 Zone 저항식 SiC 히터 적용 (Kanthal 중 선택) (2) 공정 온도: 800℃ (3) 최대 온도: 900℃ (4) 온도 균일도: 800℃ ±20℃ (공정 온도 편차) (5) 온도 정확도: ±1℃ (6) 승온 속도(내부에 제품 없는 경우): 10℃/min 이상 3. 진공 압력 (7) 최저 도달 압력: 2 × 10⁻⁵ Torr (공로 기준) (8) 공정 압력 도달 시간: 50분 이내
외부 가열 방식을 채택하여 챔버 내부를 오염시키지 않고 고온 열처리가 가능한 진공로