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12인치급 원자층 증착장비 클러스터 시스템

재단법인 차세대융합기술연구원  ·  계획 게시 2026-01-20  ·  발주계획번호 R26DD20575419
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발주계획 정보
발주예정
2026년 1월
사업금액(합계)
20.1억원 (2,010,000,000원)
계약방법
일반경쟁
조달방법
중앙조달
사업유형
해당없음
품명
진공증착기
관할구분
지자체 출자출연기관
총괄기관
경기도
담당
시설운영팀 · 박진태
연락처
031-888-9008
규격 · 수량 · 비고
규격
플라즈마 원자층 증착 장비(PEALD) 등
용도
정밀 박막 공정 기술 확보 등
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