5+1미래전략산업 양자(반도체) 분야 교육 및 연구 인프라 구축을 위한 기자재(진공플라즈마표면처리기) 구입
디마툴즈 AI 나라장터 낙찰예상가 분석
기본 정보
2026-07-07
16:34
2026-07-07 16:50
2026-07-15 11:00
2026-07-15 14:30
국가종합전자조달시스템(나라장터)
2026-07-15 11:00
R26BM00872487
20260702-04
조달청 또는 나라장터 자체 공고건
금액 정보
19,800,000원
18,000,000원
N/A
88.000%
단일예가
- / 1개
공고기관
수요기관
홍익대학교세종캠퍼스산학협력단
N/A
김수현
0448602829
N/A
입찰 조건
이 공고의 발주계획
홍익대학교세종캠퍼스산학협력단
19,800,000원
2026-07
2026-07-02
물품 품목 정보
총액계약
완료 2026-07-07T16:43:30.709+09:00
1
1
19,800,000 ~ 19,800,000원
19,800,000원
| 순번 | 품목 | 수량 | 단위 | 단가(원) | 합계(원) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 1) 챔버모듈 - 진공챔버 내부크기 : 100 x 160 x 100mm (WxDxH) - 전극구조 : 축전결합형 (반응성이온식각과 플라즈마식각 모드 모두 지원하는 평행한 2중 전극) - 전극간거리 : 60mm - 관람창 : 80mm - 플라즈마 진단 모듈의 호환가능의 챔버디자인 2) 파워제너레이터 모듈 - 플라즈마 전원공급기 주파수 : 50kHz - 출력 : 최대 100W - 플라즈마 이온밀도 : 1.5 x 1012 ~ 2.5 x 1012 (@50W ~ 200W) - 압력제어장치 : ≤Base Pressure 5.0 x 10-2 Torr (≤ 5min) - SiO₂ Etching Rate : ≥ 100nm/min - PR Etching Rate : ≥1㎛/min 3) 가스모듈 - 최대 가스공급라인 : 2 x 채널 - 선택 가스종류 : 산소, 아르곤, 질소 - 가스공급조절 : Mass Flow Controller - 유량조절 : 최대 100sccm - 퍼지라인과 벤트라인 : 각각 1채널 가지며 외부에서 Speed Controller 연결가능 4) 진공모듈 - Vacuum Gauge : Atm ~ 1.0 x 10-4 Torr - 진공펌프 펌핑 용량 : 105 L/min @50/60Hz - 진공펌프 최저도달압력 : 1.5 x 10-3 Torr 5) 컨트롤 모듈 - 컨트롤러 : 5인치 터치스크린 - 호환되는 진공펌프 터치스크린에서 전원제어 - 모든 공정요소 조정 및 실시간 비상감지 및 안내 - 실시간 온도 감지 기반 자동 인터락 보호 기능을 갖춘 파워 제너레이터 - 매뉴얼모드 | 1 | 대 | 19,800,000 | 19,800,000 |
현재 페이지의 유사 공고는 같은 물품 안에서 업종 제한이 겹치는 공고를 우선 보여줍니다. 현재 기준으로 같은 업종 최근 공고는 0건까지 확인 가능합니다.
지역제한이 없는 공고라면 전국 단위로 참여 가능 여부를 검토하면 됩니다. 업종제한이 명시되지 않았다면 세부 참가자격과 공고문 본문을 함께 확인하는 것이 안전합니다.
2026-07-15 11:00 전까지 서류와 첨부파일을 먼저 점검하는 것이 좋습니다. 첨부파일 아래의 같은 업종 최근 공고와 관련 가이드를 함께 보면 유사 사례와 실무 절차를 빠르게 파악할 수 있습니다.
메타 정보
2026-07-07
2026. 7. 7. 오후 4:42:57
원본공고