5+1미래전략산업 양자(반도체) 분야 교육 및 연구 인프라 구축을 위한 기자재(진공플라즈마표면처리기) 구입
디마툴즈 AI 나라장터 낙찰예상가 분석
기본 정보
2026-07-07
16:34
2026-07-07 16:50
2026-07-15 11:00
2026-07-15 14:30
국가종합전자조달시스템(나라장터)
2026-07-15 11:00
R26BM00872487
20260702-04
조달청 또는 나라장터 자체 공고건
입찰 조건
홍익대학교세종캠퍼스산학협력단
N/A
김수현
0448602829
N/A
금액 정보
19,800,000원
18,000,000원
N/A
88.000%
단일예가
- / 1개
물품 품목 정보
총액계약
완료 2026-07-07T16:43:30.709+09:00
1
1
19,800,000 ~ 19,800,000원
19,800,000원
| 순번 | 품목 | 수량 | 단위 | 단가(원) | 합계(원) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 1) 챔버모듈 - 진공챔버 내부크기 : 100 x 160 x 100mm (WxDxH) - 전극구조 : 축전결합형 (반응성이온식각과 플라즈마식각 모드 모두 지원하는 평행한 2중 전극) - 전극간거리 : 60mm - 관람창 : 80mm - 플라즈마 진단 모듈의 호환가능의 챔버디자인 2) 파워제너레이터 모듈 - 플라즈마 전원공급기 주파수 : 50kHz - 출력 : 최대 100W - 플라즈마 이온밀도 : 1.5 x 1012 ~ 2.5 x 1012 (@50W ~ 200W) - 압력제어장치 : ≤Base Pressure 5.0 x 10-2 Torr (≤ 5min) - SiO₂ Etching Rate : ≥ 100nm/min - PR Etching Rate : ≥1㎛/min 3) 가스모듈 - 최대 가스공급라인 : 2 x 채널 - 선택 가스종류 : 산소, 아르곤, 질소 - 가스공급조절 : Mass Flow Controller - 유량조절 : 최대 100sccm - 퍼지라인과 벤트라인 : 각각 1채널 가지며 외부에서 Speed Controller 연결가능 4) 진공모듈 - Vacuum Gauge : Atm ~ 1.0 x 10-4 Torr - 진공펌프 펌핑 용량 : 105 L/min @50/60Hz - 진공펌프 최저도달압력 : 1.5 x 10-3 Torr 5) 컨트롤 모듈 - 컨트롤러 : 5인치 터치스크린 - 호환되는 진공펌프 터치스크린에서 전원제어 - 모든 공정요소 조정 및 실시간 비상감지 및 안내 - 실시간 온도 감지 기반 자동 인터락 보호 기능을 갖춘 파워 제너레이터 - 매뉴얼모드 | 1 | 대 | 19,800,000 | 19,800,000 |
공고문 AI 요약
검출된 특이 조건 없음.
이 공고의 발주계획
홍익대학교세종캠퍼스산학협력단
19,800,000원
2026-07
2026-07-02
| 개찰일 | 공고명 | 구분 | 낙찰 고객사 | 낙찰금액 |
|---|---|---|---|---|
| 2026-09-11 | 8월 전산기기 공동구매_PC R26BK01716313 |
물품 | 주식회사원○○ | ₩7,496,000 |
| 2026-09-11 | 가고 싶은 섬 가꾸기사업 주민역량강화 용역 R26BK01712165 |
용역 | (유)메○○○○ | ₩157,333,900 |
| 2026-09-11 | 충주남산초 외 1교(칠금중) 공간재구조화 리모델링 및 증축 통신공사 입찰 공고 R26BK01708445 |
공사 | 주식회사두○○○○○ | ₩458,124,500 |
| 2026-09-11 | (가칭)거모1중 신축 기계설비공사 R26BK01700155 |
공사 | (주)영○○ | ₩1,336,604,592 |
| 2026-09-11 | 광교 A17블록 공공주택 건설사업 전기공사 책임감리용역 R26BK01683334 |
용역 | 주식회사천○○○○○○ | ₩795,635,800 |
| 2026-09-10 | 수의계약 견적제출 안내 공고(거창 강남지구 하수관로 신설사업 GIS DB 구축용역) R26BK01708991 |
용역 | 주식회사우○○ | ₩51,117,700 |
낙찰 결과 정보
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2026-07-15 11:00 전까지 서류와 첨부파일을 먼저 점검하는 것이 좋습니다. 첨부파일 아래의 같은 업종 최근 공고와 관련 가이드를 함께 보면 유사 사례와 실무 절차를 빠르게 파악할 수 있습니다.
메타 정보
2026-07-07
2026. 7. 7. 오후 4:42:57
원본공고