에어베어링 리니어 스테이지 시스템 1식(7축 구성, 리니어모터 구동, 에어베어링 가이드 및 모션 컨트롤러 포함) ※ 상세사양은 첨부 물품 규격서 참조
6G급 1500PPI FMM 검사·측정 기술개발 과제 수행을 위한 초정밀 구동 스테이지
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