최대 1,000℃·10⁻⁴ Torr 환경에서 4채널 소스 공급 및 ICP(600W) 보조 플라즈마를 활용해 다양한 박막을 증착하는 열화학 기상 증착(TCVD) 시스템 (1 set)
실험실습기자재
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