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2026년 실험실습기자재(고가) 구매(나노입자 원자층 코팅 시스템 1종 1점)

경상국립대학교  ·  계획 게시 2026-04-27  ·  발주계획번호 R26DD20742989
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발주계획 정보
발주예정
2026년 4월
사업금액(합계)
2.6억원 (258,000,000원)
계약방법
일반경쟁
조달방법
중앙조달
사업유형
해당없음
품명
웨이퍼증착적층기
관할구분
교육기관
담당
공과대학 · 김우리
연락처
055-772-1608
규격 · 수량 · 비고
규격
4종 전구체·다양한 반응가스를 이용해 2~6인치 웨이퍼 및 파우더(최대 1L)에 나노 박막을 증착할 수 있는 Thermal ALD 복합 코팅 시스템 (최대 450℃, 1 set)
용도
실험실습기자재
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