4종 전구체·다양한 반응가스를 이용해 2~6인치 웨이퍼 및 파우더(최대 1L)에 나노 박막을 증착할 수 있는 Thermal ALD 복합 코팅 시스템 (최대 450℃, 1 set)
실험실습기자재
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