1. 관찰 성능 1) 관찰 가속전압: 5, 10, 15kV 2) 배율: x24 ~ x202,168 (A4 모니터 기준) 3) 고진공/저진공 모드 지원, 후방산란전자 및 이차전자 이미지 구현 (조성상, 요철상, Live 3D) 2. 전자광학 시스템 1) 텅스텐 필라멘트 전자총 2) 2단계 전자기 콘덴서 렌즈 및 저수차 대물렌즈 3) 스캔 로테이션, 이미지 이동 등 다양한 스캐닝 기능 3. 시료대 1) 2축(X, Y) 이상 모터 구동, 이동거리 40mm 이상 2) 최대 시료크기: 80mm × 50mm 이상 3) 디지털 시료 위치 표시, 자동 백래시 보정 4. 전자검출기 1) 고/저진공 모드에서 후방산란전자 검출기 및 이차전자 검출기 탑재 5. 이미지 시스템 1) 24인치 터치 모니터, 실시간 이미지 및 동시 2화면 관찰 2) 이미지 및 비디오 저장, 대전 방지용 스캔 모드 제공 6. 조작 시스템 1) Windows 10 Pro 이상, 전용 GUI 2) 자동 초점, 대비, 축조정, 비점수차 보정 3) Montage, Live 3D, CCD 관찰 연동 기능 포함 7. 진공 시스템 1) 자동 진공 제어, 로터리펌프 및 터보분자펌프 구성 8. 스퍼터 코터 1) 마그네트론 방식, 금(Au) 타겟 2) 시료 스테이지 높이 조절 (10~50mm)
시료 표면의 미세구조, 형상, 조성 분석을 위한 고해상도 주사전자현미경